光伏篇：薄膜太阳能电池用绒面TCO发展概况

核心提示：摘 要 概括阐述了薄膜太阳能电池用绒面TCO（透明导电氧化物薄膜）的发展概况。具有优质绒面结构TCO薄膜为薄膜太阳能电池的快速发展提供最有利的前提条件。常压化学气相沉积技术、磁控溅射技术和金属有机化学气相沉积技术是工业化生产绒面结构TCO（“类金字塔”状表面）主要生产技术。主要论述了这三种技术的原理，着重阐述了这三种技术工业化生产状况和前景。进一步提出快速向工业化转换和实现大面积产业化是薄膜太阳能电池用绒面结构TCO薄膜应用的发展趋势。