七星华创 sevenstar 气体质量流量控制器

产品类型

大流量型

流量量程

300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm

产品精度

±2％F.S.

重复精度

±0.2% FS

线性

±1％F.S.

响应时间

≤10sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(1~5)VDC,(4~20)mA

电源

±15V

阀类型

先导阀

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm）

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套1/2”(满量程≤1000slm),双卡套Φ10(满量程=300slm),法兰(根据用户要求设计)

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

- 无 -

重量

6Kg