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ITO靶材主要质量指标
化学成分：In2O3 ：SnO2=90:10(wt%)
纯度≥99.99%
相对密度＞99%
密度均匀性偏差≤ ±0.2%
相结构：单一立方In2O3相
纯度≥99.99%
相对密度＞99%
密度均匀性偏差≤ ±0.2%
相结构：单一立方In2O3相
失氧率≤2%
单片最大尺寸：300mm x 400mm，厚度可按用户要求任意
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