连续线式磁控溅射真空镀膜设备

设备特点：
1.设备采用真空磁控溅射技术，孪生阴极，中频溅射技术，并配以先进的控制系统 。
2.生产过程全部自动，连续进行。被镀工件加热温度最高可达350℃，温度分区控制可调。
3.真空室材料采用SUS304，真空室内壁进行抛光处理，外壁采用抛光后喷漆处理。
4.真空室之间采用独立门阀隔开，我们设计的是插板阀，可以有效隔断，稳定工艺气体。传动采用磁导向，保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。